Плазма, ультрафиолет и терагерцы — что создают в новосибирской лаборатории

Российские учёные приблизились к созданию литографов нового поколения — ключевого инструмента в производстве микрочипов. Всё благодаря уникальной установке, способной генерировать непрерывный терагерцевый лазерный разряд. Под её воздействием удалось получить плотную и стабильную плазму, излучающую экстремальный ультрафиолет — то, что нужно для построения самых мелких элементов на микросхемах.
Плазма, которая работает
Всё дело в квазистационарной плазме — стабильном и мощном источнике энергии, параметры которого уже сегодня подходят для практического применения. Как отметил Виталий Кубарев, сотрудник Института ядерной физики СО РАН:
"Нет сомнений в практической полезности такого источника для развития отечественной микроэлектроники. Благодаря новшествам по ограничению объёма плазмы и её стабилизации нам удалось получить квазистационарную плазму. В этом состоянии её поддерживает импульсно-периодическое излучение. Параметры плотности плазмы и её размер достаточны".